首部國產高精尖封裝光刻機落地 荷蘭ASML緊急佈局

光刻機是芯片製造產線上最核心的設備，全球能夠獨自生產的只有四家企業，分別是荷蘭的ASML、中國的上海微電子，以及日本的尼康、佳能。但是，在中高端光刻領域，比如DUV、EUV光刻機，ASML則是獨一檔的存在，幾乎壟斷了市場。

荷蘭ASML 幾乎壟斷了中高端光刻機市場。

由於ASML使用了美國技術，無法向國內市場自由出貨，因此，在我們的芯片國產化道路上，光刻設備壟斷便成了最大攔路虎。換句話來說，想要實現「中國芯」的崛起，那麼我們首先就要實現光刻設備的國產化。

令人憤慨的是，ASML居然潑來冷水，表示就算把光刻機的設計圖紙給中國，我們也造不出。

不能否認光刻設備技術的研發的確很難，畢竟該設備有約10萬個精密零件，有5000多家全球供應商，可真讓ASML給我們個圖紙試試？它之所以這麼說，主要是擔心國家實現光刻設備自主化後，衝擊到它的市場地位，想讓我們知難而退罷了。

但是，經歷了刻骨銘心的芯片「卡脖子」之痛，國家已徹底認識到了技術設備自主的重要性。何況，現階段國家也別無選擇，光刻設備的國產化不僅要身體力行地去完成，而且還要加快步伐。

令人振奮的是，中科院、清北高校等科研機構紛紛挺身而出，將光刻技術攻關列入緊急任務清單；承擔重任的上海微電子、以及號稱「光刻機第一股」的華卓精科也均加大了研發投入。

上海微電子傳出好消息。

在這兩年時間里，國內光刻市場不斷傳出著技術破冰的好消息，但也沒想到會來的這麼快，近日，上海微電子傳出了重磅消息，自研的首台國產高精尖封測光刻機已經正式落地！且已與多家客戶達成銷售協議，首台設備將於年底之前完成交付。

上海微電子首台國產高精尖封測光刻機已經正式落地。

雖然上海微電子的這台國產光刻機只是用於封測，而並非用於芯片製造環節，但這並不能抹掉其帶來的重大轉折意義。要知道，該設備有著高精尖的工藝，達到了國際頂尖水準，徹底彌補了國內封裝領域的短板。

光刻機。

換個角度來看，上海微電子既然已經能量產高精尖封裝光刻設備，那麼用於製造環節的。且多次傳出突破消息的國產28nm光刻機還遠嗎？

國產光刻領域這麼快的推進速度，讓荷蘭光刻巨頭ASML始料未及，為了在將來與國產光刻機的競爭中獲得先發優勢，ASML緊急展開了佈局。

首先，ASML擴大在中國市場研發中心的工程師團隊規模，增設技術服務站點、加大與國產芯片企業的合作力度。

ASML這一舉措，給它帶來了巨大的利益。據公開資料顯示，今年ASML向國內市場傾銷了約40台光刻設備，重點是，這些都是即將淘汰的壓箱底舊貨ASML不僅達到了快速變現的目的，而且還有效地擠壓了國內中低端光刻廠商的發展空間。

其次，外媒報道，ASML做出了擴產決定，計劃在年底之前再交付25台EUV，明年計劃製造55台，2023年目標是60台。

值得強調的是，從2015年EUV設備研發出至今，ASML總計也才出貨了102台，如今卻突然計劃要三年出貨140台。或許是因為全球缺芯導致EUV設備的需求量暴漲，但很大一部分原因來自於市場格局的變化。

中國是全球最大的半導體芯片消費市場，ASML如果繼續無法自由出貨，那麼一旦我們實現了高精度光刻設備的國產化，它就將被徹底失去中高端光刻領域獨一無二的市場地位。

若想改變這一局面，ASML需要把稀缺的EUV普及化，讓老美的限制失去意義。而且ASML的新一代EUV也已研發完成，預計2023年投產，按照美制定的出口規則，屆時，上一代EUV就不再是最先進的設備，將可以自由出貨。

總體來看，ASML不忍捨棄國內市場是真，但不想看到我們實現高精尖光刻設備的自主化也不假。但對於國產企業而言，即便ASML真的做到了EUV的自由出貨，國家也絕對不能放棄自主研發的腳步。

倪光南院士。

正如倪光南院士所說：核心技術是買不來、換不來、求不來的若想徹底避免「卡脖子」，就要做到真正的「手中有糧、心中不慌」。

毛拍手

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施普林格·自然（Springer Nature）旗下學術期刊《科學報告》近日發佈一篇論文，透過分析了中國「祝融號」火星車收集的數據顯示，火星表面發現的一些岩石沉積物可能來自於35億年前的古代海洋，推測在火星歷史早期，火星北半球可能短暫存在過海洋。

據《南華早報》早前報道，中國太空技術研究院、香港理工大學和俄羅斯科學院的研究人員分析了「天問一號」任務發回的數據，發現火星北半球烏托邦平原南部存在與古代海洋近岸帶相符的地形特徵，例如凹錐、多邊形溝槽和沉積通道。

《科學報告》論文透過分析了中國「祝融號」火星車收集的數據，火星表面發現的一些岩石沉積物可能來自於35億年前的古代海洋。

研究人員也測定了研究區域岩石沉積物的年代和物質組成。他們根據這些數據推測，烏托邦平原可能在大約36.8億年前發生過洪水，形成了淺海和深海環境，但這片海洋在「地質學上很短的時間內」凍結，形成了一條海岸線，並在約34.2億年前消失。

報道引述了香港理工大學深空探測研究中心副主任吳波表示，研究區域可分為南部水或冰含量較少的淺海單元，以及北部水或冰含量較多的深海單元，他對英國《新科學家》雜誌表示，即使在淺水區，水深也可能達到600米，但沒有足夠的數據來估計古代海洋的最大深度。

理大研究助理教授 Sergey Krasilnikov認為，水中含有大量淤泥，從而形成了沉積物的分層結構。他推測，火星在歷史早期可能擁有一個「更厚、更溫暖」的大氣層。

「祝融號」在火星烏托邦平原拍攝的照片。(中國探月工程微信公眾號)

但論文強調，「祝融號」的觀測資料仍無法作為火星古代海洋存在的直接證據，但發現烏托邦平原南部可能存在大量水體，將增進人們對火星氣候演化的認識。

美國加州史丹佛大學行星地質學專家Mathieu Lapotre稱，早期火星是否存在過海洋依然是一個極具爭議的問題，對探索火星環境的演化具有重要意義。他認為，這項新研究為未來火星探測提供了方向，人們可以透過火星任務進行檢驗。

先前已有許多證據支持曾有水在火星表面流動的假設，例如美國「毅力號」火星車的著陸地點傑澤羅隕石坑被認為可能存在過水。美國國家航空暨太空總署（NASA）指出，傑澤羅隕石坑有明顯的三角洲和河流痕跡，可能在35億年前形成一個湖泊。

今年8月，美國加州大學聖迭戈分校斯克利普斯海洋研究所和加州大學柏克萊分校的學者分析了NASA「洞察號」火星車收集的數據，計算出火星地表下可能存在大量液態水。

有學者分析了NASA「洞察號」火星車收集的數據，計算出火星地表下可能存在大量液態水。AP圖片

根據「洞察號」收集的火星地震數據，研究人員發現，火星地震波穿過岩石的速度，與充滿液態水的破碎火成岩的匹配度最高。分析顯示，這個「水庫」位於火星地殼中部岩石的微小裂縫和孔隙中，距離火星表面約10至20公里。

美國「Space.com」網站指出，科學家對火星古代海洋有很多猜測，但只有將火星樣本帶回地球，才有可能探明火星環境演化的真相，因為科學家可以在地球上用更多儀器進行詳細分析。

今年9月，中國國家太空總署宣布，「天問三號」火星採樣返回的實施時間將由2030年前後提早至2028年前後。「天問三號」任務計畫使用兩枚長徵五號運載火箭，分兩次發射「天問三號」的軌道器、返回器組合體和登陸器、上升器組合體，實現火星樣品返回地球。